激光退火装置

FPD、半导体用的激光退火装置

FPD:本公司的独有技术双激光&双腔体系统等,所有组件均成功实现日本国产化,可提供适应各种玻璃尺寸的最优系统。

半导体:是独有的双脉冲方式的高性能固体激光退火装置。具有高重复性,高脉冲能量稳定性, 免维护,设计紧凑的特点,将会促进新一代工艺的开发。

特点

FPD用激光退火装置

日本国产高功率的准分子激光振荡器
搭载使用寿命长,脉冲能量稳定性高的本公司产激光振荡器。配合独有的光学系统,实现了稳定的加工表面光洁。

高运转率
本公司采用独有的TWIN方式解决了准分子激光维修频率高,装置停机时间长的问题。依靠双激光&双腔体系统,操作与维护可以同时进行,以减少停机时间。
支持体制
依靠激光振荡器、包含光学系统的所有环节的日本国产化,可实现总系统的持续支持。另外,依靠采用拉杆维修结构,相比贝塞尔切换方式可大幅削减维护成本。

半导体用激光退火装置

脉冲能量稳定性高
具备能量反馈功能。面内均一性达到σ≦1%。

双脉冲控制
依靠独有的双脉冲过程,控制纵向温度分布与时间。即使在温度限制下也可以实现高温退火过程。

追求模块化的ELA系列采用了本公司生产的激光与光学系统。可按照客户需求提供最合理系统。
是对应双脉冲工艺的高性能固体激光退火装置。将促进下一代工艺开发。

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