精密定位装置

引领纳米技术的XY平台

采用了用于精密定位FPD半导体制造装置的XY平台。依靠整机制造商倡导的机制技术与独有的控制技术,实现纳米级高精度定位。

特点

GL Series门形移动型直线导轨平台

  • 采用制缸结构框架从而实现低价格。
  • 实现从第4代到第10代全产品阵容。
  • 为缩短接触时间采用轻型门架。
  • 用途
    液晶/太阳能电池/有机EL 检查维修装置用XY平台

GA Series门形移动型气浮导轨平台

  • 采用石材和气浮导轨从而实现高性能扫描。
  • 依靠独有的反力处理装置减少涂层不均现象。(可选)
  • 可由z型轴结构调整加工头位置高度。(可选)
  • 用途
    液晶/太阳能电池/有机EL 涂层装置用平台

LA Series 大型气浮导轨表面处理平台

  • 采用石材和气浮导轨实现高平整度与直线度。
  • 采用独有的工作台支撑结构实现稳定加工。
  • 用途
    液晶/太阳能电池/有机EL 高精度激光加工喷墨用XY平台

TL Series 重叠式直线导轨平台

  • 低价格的提供高精度高吞吐量的平台。
  • 依靠直线电机驱动平台实现高吞吐量。
  • 依靠独有的反作用力处理构造实现高精度定位。
  • 用途
    半导体/打印头基板 检查加工装置用XY平台

SA/SL Series 小型表面处理平台

  • 采用低重心H型结构实现高速稳定的精确定位。
  • 搭载的零部件可多项选择,以适应客户各种需求。
  • 高速高加减速(1m/s、1G)时,采用反作用力处理构造实现精确驱动。
  • 用途
    半导体/打印头基板 曝光·高精密检测装置用XY平台
实现加工头的高速定位
可搭载多种加工头
适用于装置分工化
实现高速扫描涂料
不会出现涂层不均的平台结构
喷头高度位置调整功能
最适用于基板与加工头的高精度定位
可搭载多种加工头
适用于装置分工化
实现硅片·基板的高速定位
最大程度降低装置振动
可选Z结构、θ结构
最适用于硅片的高速扫描
最大程度降低装置振动
可选Z结构、θ结构

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