低温泵

节能 (多泵运转)、稳定性能、停机时间段短(排气性能等)

所谓低温泵指的是在真空容器内设置极低温面板,可凝聚或吸附后再排出容器内的气体分子的高真空泵。采用需无尘的半导体制造装置。使用了本公司最出名的GM低温冷冻机,十分值得信赖。

特点

低温泵是指

低温泵属于真空泵的一种。
真空泵分为气体输送泵和气体捕集泵两种。按照作用压力范围分为粗真空泵和高真空泵。粗真空泵又分为油旋转真空泵和干粗泵。高真空泵又分为涡轮分子泵,低温泵,溅射离子泵,油扩散泵。

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低温泵的特点如下:

  • 排气速度(尤其对水蒸气)快
  • 虽然是捕集式,但MAX排气量大
  • 可获得完全无油真空
  • 需要定期排出(再生操作)捕集的气体
  • 不排出化学气体

本公司销售有SICERA®与Marathon®两种类型的低温泵。
SICERA®指的是S:Sumitomo I:Inverter integrated C:Cryopump with E:Energy R:Reduction A:Advantage的略称首字母,有如下特点:

  • (可个别控制的多泵系统)
    可用一台压缩机运行最多7台真空泵
  • (高可靠性)低
    温泵用冷冻机的丰富实例
  • (高节能效果)
    以最优化运行可降至从前的1/2以内。
  • 多步骤再生循环与短再生时间
  • 完全自动再生

另一个低温泵Marathon®由美国Sumitomo(SHI) Cryogenics of America, Inc.工厂生产,拥有以下特点:

  • 独有的面板设计
  • 氢气排气容量大
  • 多步骤再生循环与短再生时间
  • 适应性强,可对应8-20英寸尺寸规格

与极低温冷冻机相同,我公司全球生产、销售网络拥有美国(3处)、英国、德国、韩国、中国多处网点。在有待继续发展的亚洲市场也拥有支援体系。

SICERA® 可进行多泵运转,从而现实变频器控制节能效果。
Marathon® 适用于多种尺寸。

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